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山田光学YP-150ID,专为晶圆与显示面板的微观缺陷检测而生

发布时间:2026-01-12 点击量:25

“在半导体和高1端显示面板行业,肉眼难以察觉的微观缺陷往往是良率的最1大杀手。"一位半导体制造领域的资1深工程师表示。当缺陷尺寸小于0.2微米时,传统检测手段已力不从心。

表面检测的挑战正是如此直接而棘手:如何在确保检测精度的同时,防止检测过程本身对精密元件造成二次损伤?

01 行业困境,微观缺陷的检测难题

半导体与平板显示制造业面临着日益严峻的质量控制挑战。随着制程工艺不断迈向5纳米、3纳米甚至更精细的节点,对晶圆表面缺陷的敏感度要求已达纳米级别。

高1端显示面板同样如此,OLED和Mini-LED技术的普及使得基板表面的任何微小瑕疵都可能导致昂贵的成品报废。

问题的核心在于检测精度与安全性的矛盾。传统检测光源要么亮度不足,导致细微缺陷被遗漏;要么热辐射过强,可能对光敏材料和精密涂层造成热损伤。

这种情况导致两个结果:要么是缺陷逃逸率居高不下,直接影响产品良率和可靠性;要么是检测过程本身成为产品质量的潜在风险源。

更复杂的是,不同材料对光照的反应各异。硅基晶圆、化合物半导体、玻璃基板、特殊涂层,每种材料都需要特定的照明条件,这对检测设备提出了近乎苛刻的要求。

02 核心技术,为微观检测而生的光

山田光学YP-150ID强光灯的设计哲学直击行业痛点。其核心技术围绕三个关键维度展开:亮度、热管理和均匀性,这恰恰对应了微观缺陷检测中最棘手的三个问题。

首先是超高亮度与精密检测能力。YP-150ID能在检测表面提供超过400,000 Lux的照度,这种接近极限的亮度水平,使得人眼能够分辨小于0.2微米的极细微缺陷。

光源采用特制卤素灯,色温维持在约3400K的黄金区间,确保光线既足够明亮,又不会因色温过高而产生刺眼的蓝光成分。

其次是革命性的冷镜技术。这是YP-150ID区别于传统检测光源的核心创新。通过特殊设计的冷反射镜,YP-150ID能将照射到样品上的热辐射降低至传统铝镜的1/3甚至更低。

这意味着即使长时间连续检测,样品表面温度也能保持在安全范围内,尤其适用于对热敏感的新型半导体材料和有机涂层。

最后是无可挑剔的光学均匀性。YP-150ID的光束经过精密光学系统处理,在照射区域内形成了高度均匀的光场,消除了传统光源常见的中1央亮斑和边缘衰减问题。

这种均匀性直接转化为检测一致性的提升,无论样品的哪个区域,都能获得相同的检测条件,大大降低了因光照不均导致的误判或漏检。

03 应用场景,覆盖精密制造全链条

YP-150ID的价值体现在半导体与电子制造的全流程中,从原材料检验到成品检测,这一照明解决方案正在重塑行业的质量控制标准。

在晶圆制造环节,YP-150ID主要用于硅片、砷化镓和碳化硅等晶圆的表面检测。无论是抛光过程中的细微划痕,还是沉积工艺引入的异物颗粒,甚至是晶体生长阶段形成的滑移线,都能在YP-150ID的照明下清晰呈现。

一位晶圆厂的质量经理评价道:“自从引入YP-150ID,我们的表面缺陷检出率提升了近30%,尤其是在边缘区域,传统光源难以覆盖的死角现在一目了然。"

在平板显示制造领域,YP-150ID的应用同样关键。液晶基板、OLED玻璃面板等大尺寸基材的表面平整度要求极1高,任何微小的刮伤、灰尘附着或抛光不均都会直接影响显示效果。

YP-150ID的可调光束直径功能(30mm至50mm)使技术人员能够根据检测区域大小灵活调整照明范围,在保证亮度的同时提升检测效率。

对于精密电子部件的检测,YP-150ID的优势更为明显。金属外壳的细微划痕、树脂部件的成型缺陷、涂装表面的灰尘沾染,这些在普通光线下难以察觉的问题,在YP-150ID的高品质照明下无所遁形。

更重要的是,其低热辐射特性确保了即使在长时间检测下,也不会对树脂、特殊涂层等温度敏感材料造成损伤。

04 人性设计,智能化提升检测效率

YP-150ID不仅是一台高性能的检测设备,更是经过深度人性化设计的检测助手,其操作体验充分考虑了实际工作场景的需求。

高/低两档照度一键切换功能让技术人员能够根据不同的检测需求快速调整照明强度。检测初期使用高亮度进行全面筛查,发现可疑区域后切换到低亮度进行细节确认,这一设计大幅提升了检测的灵活性和效率。

高度可调与光量控制是另一项实用设计。通过底部的旋钮,用户可以轻松调整照明器的高度,同时精细控制光量输出。这种微调能力在处理不同材质、不同反射率的样品时尤为重要。

长寿命与易维护是YP-150ID的隐藏优势。虽然光源寿命约为50小时,但模块化设计使得更换灯泡变得简单快捷,最1大限度地减少了设备维护对生产流程的干扰。

一位使用YP-150ID超过一年的用户表示:“最让我们满意的是它的一致性和可靠性,从第1个样品到第1千个样品,照明条件几乎没有变化,这为我们建立稳定的检测标准提供了可能。"

05 选型指南,适配不同制造需求

针对不同的生产场景和检测需求,山田光学提供了多元化的产品选择。了解各型号的特点,能够帮助用户做出最合适的投资决策。

YP-150I / YP-150ID系列是检测6英寸及以下晶圆或小面积区域的理想选择。照射范围约30mm,功率150W,在保证检测精度的同时,具有优异的能效比。最1新发布的YP-150ID版本在光学性能和使用寿命方面均有提升。

YP-250I型号则面向更大尺寸的检测需求。照射范围扩展至60mm,能够全面覆盖8英寸晶圆,功率提升至250W,为更大面积的检测提供了充足的亮度保障。

在特殊应用场景下,用户还可以选择不同冷却方式的型号。标准型号采用强制风冷,适用于大多数环境;对于对气流敏感的超净环境,管道风扇型则能有效避免检测区域的气流干扰。

选择建议很简单:检测6英寸及以下晶圆或小面积区域,选YP-150ID;需要检测8英寸晶圆或更大面积,则选YP-250I。

更重要的是,如果检测的样品对温度非常敏感,冷镜技术带来的低温优势将成为决定性因素。


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